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MEMS压力传感器的原理是什么?

发布时间:2022-11-24 1 次浏览

  产品是选用MEMS技能将感压单元和信号处理芯片集成在一个只要几毫米的MEMS芯片上,后期进行必要的封装而来。MEMS产品在咱们的日子中随处可见,如电子血压计里边的感压单元,手机麦克风,数码相机的光学防抖所用的陀螺仪等。

  MEMS丈量压力的原理是在感压膜片上集成几个MEMS压敏电阻,这几个压敏电阻经过绑线完成与外部的电气衔接,并组成一个惠斯通电桥。

  当压力作用在感压膜片上后,发生机械应力,使得桥臂电阻发生改变,并经过外部电路将这个细小的电压改变进行放大和处理,终究输出正比于压力的电压或许数字信号。

  关于压差传感器的选型,需求依据运用需求的不同,首要考虑压力量程、运用温度、输出信号格局、上下拉电阻、精度这五点。别的,依据不同的装置需求,如螺栓孔的数量、压力端口的直径以及接插件类型等,能够挑选不同外形的压差传感器。

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